低溫恒溫槽應(yīng)用廣泛，可應(yīng)用在：

　　對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

　　對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。

　　其他產(chǎn)業(yè)用機(jī)器發(fā)熱部分的冷卻：等離子熔接、自動包裝機(jī)、模具冷卻、洗凈機(jī)械、鍍金槽、精密研磨機(jī)、射出成型機(jī)、樹脂成型機(jī)的成型部分等。

　　高精度低溫恒溫槽中換熱設(shè)備設(shè)計(jì)準(zhǔn)備：

　　首先要全面準(zhǔn)確地理解設(shè)低溫恒溫槽計(jì)任務(wù)書對設(shè)計(jì)的要求。掌握工藝生產(chǎn)的某些條件如工作溫度、允許溫差壓力、允許壓降、工作流體的物理和化學(xué)性質(zhì)等。除此之外還應(yīng)包括設(shè)備熱負(fù)荷、低溫恒溫槽可以提供的材料、加工條件等方面。這些資料是選型的依據(jù)、同時也是熱力計(jì)算的前提。

　　高精度低溫恒溫槽中換熱設(shè)備設(shè)計(jì)內(nèi)容：

　　1.根據(jù)設(shè)計(jì)的任務(wù)結(jié)合各類低溫恒溫槽換熱設(shè)備的結(jié)構(gòu)和特點(diǎn)。選定設(shè)備形式必要時可同時選取幾種形式進(jìn)行初步結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，通過技術(shù)經(jīng)濟(jì)等綜合比較確定終形式。

　　2.根據(jù)選定的初步結(jié)構(gòu)形式以及其他參數(shù)，低溫恒溫槽進(jìn)行傳熱計(jì)算、阻力計(jì)算以及強(qiáng)度計(jì)算。計(jì)算結(jié)果應(yīng)使結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的傳熱面積與傳熱計(jì)算的傳熱面積相比有10％-20％的裕量，而計(jì)算壓陣小于允許壓降。在進(jìn)行強(qiáng)度計(jì)算時，要特別注意所用材料的溫度特性。許多材料的特性在低溫時與常溫時相差很大，此外設(shè)計(jì)時還應(yīng)遵循壓力容器的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。

　　3.校核計(jì)算。

　　4.進(jìn)行精心的機(jī)械設(shè)計(jì)，低溫恒溫槽包括零部件尺寸的確定和強(qiáng)度鉸核、溫差腕力計(jì)算、熱補(bǔ)償力案確定等。